سیستم چرخاننده سیارهای نمونه
یکی از ویژگی‌های یک لایه نازک مناسب، میزان یکنواختی لایه ایجاد شده است. چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی از مؤثرترین راهکار‌ها برای افزایش میزان یکنواختی لایه‌های نازک ایجاد شده در روش رسوب دهی فیزیکی بخار(Physical Vapor Deposition(PVD)) می‌باشد. میزان اثربخشی چرخش زیرلایه در بهبود یکنواختی لایه نازک ایجاد شده، به شکل هندسی زیرلایه و نحوه چرخش آن حین فرایند لایه نشانی بستگی دارد. مثلا در مورد زیرلایه‌هایی با شکل هندسی مسطح(مثل دیسک)، چرخش حول محور عمود بر سطح زیرلایه کافی است تا لایه یکنواختی بر روی آن ایجاد شود. اما برای زیرلایه‌هایی با شکل هندسی پیچیده‌تر که دارای سطوح ناهمسان از نظر ارتفاع می‌باشند، نیاز است تا چرخش در سایر محورها نیز صورت پذیرد تا تمام زوایای پنهان زیرلایه پوشش داده شوند و ناحیه‌ای موجب سایه اندازی روی ناحیه دیگر نشود. به این نوع چرخش، حرکت سیارهای می‌گویند. ویدیوهای مرتبط
ویدیوهای جدید
